當同一光源的兩個或多個路徑長度稍有不同的光束疊加時，干涉儀可以利用此時產(chǎn)生的效應工作。

所產(chǎn)生的光譜及其調制頻率包含了距離或層厚數(shù)據(jù)，具體情況取決于系統(tǒng)應用的測量任務。

干涉型傳感器的優(yōu)勢

• 高速在線檢測，最高可達 70 kHz。
• 不受高溫、潮濕或震動條件的影響，因此適用于惡劣的工業(yè)環(huán)境，即使在水、油或酸等液體中也沒有問題
• 適用于質量保障、表面和厚度測量
• 光學技術是可以測量多層夾層玻璃的獨特方案
• 對 0.6 - 15,000 μm 的厚度測量很精確
• 適合紅外透射材料的厚度測量，例如在晶片檢查過程中的測量。
• 靜態(tài)或移動測量點 
• 無源光學探頭 —— 結構緊湊且無源、無磨損、無撕裂

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