半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
先進(jìn)的半導(dǎo)體計(jì)量
我們的非破壞光學(xué)測(cè)量技術(shù)可用于半導(dǎo)體芯片 (晶片) 的超精密測(cè)量和分析。利用這些半導(dǎo)體傳感器收集的高分辨率 3D 數(shù)據(jù)，能夠?qū)﹄娐吠負(fù)溥M(jìn)行必要的詳細(xì)檢查。
半導(dǎo)體計(jì)量傳感器可測(cè)量多達(dá) 192 個(gè)非常接近的測(cè)量點(diǎn)，因此光學(xué)探頭在給定時(shí)間內(nèi)測(cè)定的面積遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)點(diǎn)式傳感器。我們公司的 CHRocodile IT 產(chǎn)品系列可對(duì)晶片、膠粘劑和涂層進(jìn)行高速厚度測(cè)量，以實(shí)現(xiàn)更高的半導(dǎo)體產(chǎn)量以及更精確、可重復(fù)性更高的產(chǎn)品質(zhì)量。
在化學(xué)機(jī)械拋光 (CMP)、背面研磨和旋轉(zhuǎn)腐蝕的車間處理過(guò)程中，可以使用這些高速工具就地測(cè)量端點(diǎn)厚度。總而言之，光學(xué)監(jiān)測(cè)提高了半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的效率，從而減少了材料浪費(fèi)。
